Фильтр
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
398 692 768 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
496 592 247 сум
/шт 
Подогрев подложки до, ℃
—
1500
577 952 935 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
1 024 055 844 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
1 100 178 720 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300
1 157 572 448 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
1 531 996 685 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
1 602 818 260 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
1 714 240 818 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
75
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
750
1 860 772 593 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
1 992 797 214 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
2 157 772 437 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
300
2 568 861 363 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
300
2 826 307 786 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
100
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
500
3 327 709 298 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
100
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
3 383 420 577 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
80
Количество магнетронов, шт
—
1
Подогрев подложки до, ℃
—
500
4 097 810 594 сум
/шт 
6 937 990 648 сум
/шт
7 745 804 194 сум
/шт