Фильтр
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
419 692 936 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
522 749 031 сум
/шт 
Подогрев подложки до, ℃
—
1500
608 395 195 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
1 077 995 485 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
1 158 127 947 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300
1 218 544 750 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
1 612 690 870 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
1 687 242 798 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
1 804 534 267 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
75
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
750
1 958 784 245 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
2 097 762 940 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
2 271 427 831 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
300
2 704 169 862 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
300
2 975 176 647 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
100
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
500
3 502 988 259 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
100
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
3 561 633 993 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
80
Количество магнетронов, шт
—
1
Подогрев подложки до, ℃
—
500
4 313 652 760 сум
/шт 
7 303 432 362 сум
/шт
8 153 795 515 сум
/шт