Фильтр
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
377 659 470 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
470 394 197 сум
/шт 
Подогрев подложки до, ℃
—
1500
547 462 649 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
970 031 107 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
1 042 138 070 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300
1 096 503 954 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
1 451 175 196 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
1 518 260 532 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
1 623 804 920 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
75
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
750
1 762 606 314 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
1 887 665 890 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
2 043 937 737 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
300
2 433 339 397 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
300
2 677 204 066 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
100
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
500
3 152 153 812 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
100
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
3 204 926 006 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
80
Количество магнетронов, шт
—
1
Подогрев подложки до, ℃
—
500
3 881 627 909 сум
/шт 
6 571 972 402 сум
/шт
7 337 169 215 сум
/шт