Фильтр
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
369 223 306 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
459 886 523 сум
/шт 
Подогрев подложки до, ℃
—
1500
535 233 419 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
948 362 535 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
1 018 858 772 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300
1 072 010 230 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
1 418 758 819 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
1 484 345 602 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
1 587 532 337 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
75
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
750
1 723 233 184 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
1 845 499 176 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
1 998 280 221 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
300
2 378 983 419 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
300
2 617 400 634 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
100
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
500
3 081 740 945 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
100
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
3 133 334 313 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
80
Количество магнетронов, шт
—
1
Подогрев подложки до, ℃
—
500
3 794 920 037 сум
/шт 
6 425 167 568 сум
/шт
7 173 271 401 сум
/шт