Фильтр
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
374 723 086 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
466 736 780 сум
/шт 
Подогрев подложки до, ℃
—
1500
543 206 008 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
962 488 904 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
1 034 035 221 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300
1 087 978 398 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
1 439 891 994 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
1 506 455 727 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
1 611 179 484 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
75
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
750
1 748 901 668 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
300 (500)
1 872 988 878 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
2 028 045 678 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
300
2 414 419 655 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
300
2 656 388 223 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
100
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
500
3 127 645 132 сум
/шт
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
100
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
3 180 007 011 сум
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
80
Количество магнетронов, шт
—
1
Подогрев подложки до, ℃
—
500
3 851 447 410 сум
/шт 
6 520 873 891 сум
/шт
7 280 121 133 сум
/шт